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台積電的材料特攻隊

在台積電、美光等半導體廠投資帶動下,台灣半導體材料產業近年蓬勃發展, 連續9年都是全球最大半導體材料市場。 本刊採訪發現,在這個新的千億商機下,有一群台灣的隱形冠軍, 正靠半導體市場穩穩獲利。

半導體龍頭赴美投資不能沒有的化工台灣隊  揭密!台積電背後的隱形冠軍

半導體龍頭赴美投資不能沒有的化工台灣隊 揭密!台積電背後的隱形冠軍

在台積電、美光等半導體廠投資帶動下,台灣半導體材料產業近年蓬勃發展,連續9年都是全球最大半導體材料市場。 本刊採訪發現,在這個新的千億商機下,有一群台灣的隱形冠軍,正靠半導體市場穩穩獲利。 今年上半年,台積電新廠推進的速度,愈來愈快,這將是台灣半導體材料的大商機。 3月6日,南科18廠四期FAB棟正式動工,南科30公頃的基地,比台北中正紀念堂還大,這裡將成為台積電3奈米製程的重要據點。5月12日,台積電董事會批准經費將在苗栗竹南設先進封測廠,總投資金額上看3000億元台幣。5月15日,台積電公告,有意在美國設立5奈米新廠,投資金額也上看3600億元台幣。 台積電董事長劉德音6月9日在股東會後的記者會透露,會找下游廠商一起赴美,例如製程化學品、特殊氣體等高精密材料,讓台廠產業可以往新市場發展。台積電還幫協力廠談好了條件,台積電享有的土地、補助等優惠,上游廠商也會有同樣待遇。 只待美國「半導體振興法案(CHIPS Act)」過關,美國補助款到位,不僅台積電在美國新廠能獲利,上游材料廠也能跟著到美國打「大聯盟」擴張版圖。 ▲台積電股東會上,董事長劉德音表示會帶供應商赴美,讓台灣產業能朝新市場發展。(圖/彭世杰攝) 捍衛良率 上游廠商也赴美 過去,半導體材料被認為是歐美日商的天下,這一次,劉德音說要帶台灣材料供應鏈出國,這揭開了台積電布局多年的祕密:過去幾年,台積電不斷培養本土供應鏈,把台積電的know-how「藏」在材料裡;除了用這些材料提升良率,台積電還攜手台廠,用台灣供應鏈共同開發綠色製程,逐步換掉具有毒性的半導體材料,或是回收材料再利用,降低有毒材料用量。 這也就是為什麼,台積電到半導體龍頭英特爾廠區旁設廠,還要大費周章帶台灣供應鏈過去的原因之一。可以說,少了這些台灣半導體材料公司,台積電也難有這麼高的獲利,這裡面有許多早已是全亞洲知名的公司。 早在2019年1月台積電發生「光阻液事件」,損失數億美元後,已意識到先進製程不只靠台積電自己的技術才能完成,半導體材料品質的精進更為關鍵。 去年底,台積電品質暨可靠性組織長何軍在供應鏈論壇上,以「供應鏈合作的新紀元」為題演講。他打出一連串的投影片解析,「材料將是摩爾定律的推進者」,當微縮製程將線路愈做愈細,「舊的材料已變成新的風險」。(延伸閱讀:台灣最大電子級硫酸廠 廣明實業,台積電美國廠也要靠他) 如果把線路寬度比喻成馬路,過去製造的線路寬度有如大馬路,一輛小汽車卡在路中間還不會塞車,但現在製造的線路寬度和過去相比,有如鄉間小道,甚至像水溝般大小,同樣一輛車,會讓路線完全堵住,材料裡過去尚能容忍的「雜質」,就像拋錨的汽車,成了必須嚴格管控的品質殺手,台積電對半導體材料的品質要求大幅提高。 頂級質譜儀 價格比超跑貴 就連水都要重新被檢視!台積電用於先進製程,是特殊處理過的超純水,水中金屬離子數量低到幾乎不導電,但何軍打出一張投影片顯示,在電子顯微鏡下,原本應該平整的晶圓表面上附著了一顆金屬粒子,「水的品質不確定,就意味著風險」。 一位產業人士觀察,「以前談材料的檢驗標準,單位是PPM(百萬分之1),現在是PPB(10億分之1),以後會是PPT(1兆分之1)」,為了確定送給台積電的材料符合要求,材料廠還要自掏腰包買最先進的檢驗設備,在關東鑫林雲林廠,關東鑫林一口氣就買了台5高階的電漿質譜儀,每一台要價都超過一輛超跑。 而且,同一批材料,出廠前廠商自己檢驗一次,送進台積電之後,還有一組超過200人的團隊,重新對材料再做檢驗;換句話說,要能打進台積電先進製程供應鏈,不只要有生產技術,檢測服務、運送,缺一不可。如果把台積電比喻 成一家相片沖印店,台積電的工作,就是把IC設計公司設計出的電路「沖印」在矽晶圓上,再用蝕刻材料「拿掉」不要的部分,再利用沉積材料等各種物質,把電路「加」上去。工研院產業科技國際策略發展所經理張致吉解釋,半導體材料大致可分為矽晶圓、光罩、薄膜製程使用氣體、蝕刻製程使用氣體、製程用洗淨藥液和乾燥藥液、研磨墊、研磨液體等部分。 半導體材料的市場每年也穩定成長,張致吉引用《富士經濟報告》指出,以蝕刻用材料為例,市場規模在5年內仍會持續成長。 因為,蝕刻用材料的作用就像一把化學的鏟子,以前做記憶體,只要在晶圓上挖128層,「現在已經堆疊到500層。」人們使用的資料量愈來愈大,相關材料的需求也愈大。 ▲隨著半導體製程愈來愈精密,對材料的要求標準也愈來愈高。(圖/取自台積電官網) 商機浮現 默克投資南台灣 關東鑫林科技董事長呂志鵬指出,製程化學品以前可以做到對A材料完全沒有損害,對B材料卻一口氣溶解10層、20層,「現在記憶體堆疊層數愈來愈高,材料一口氣就要吃30、40層,卻還是要求對旁邊的A材料一點都不能損害。這種讓化學品「指到哪裡就吃到哪裡」的特殊技術,靠的就是材料供應商手上的獨門配方。 20年前默克一度賣掉電子級化學基礎材料,過去幾年又重新投資半導體材料事業,就是看到機會。台灣默克董事長謝志宏更透露,在經濟部鼓勵和協助下,默克今年也計畫在南台灣投資先進的半導體沉積材料,「這些材料不是一車一車賣,而是以公克為單位供應」。 過去多年,台灣一直是全球最大的半導體材料市場;光是去年,台灣就採購超過113億美元的半導體材料,台幣價值超過3300億元。在以台積電為龍頭的帶動下,近年已有愈來愈多的半導體材料外商來台進駐。 站在雲林斗六工業區,就能感受到這個趨勢。在這裡,台日合資的半導體材料廠關東鑫林,去年雲林1廠2期工程、雲林2廠接連完工,總投資金額達100億元台幣。全球3大光阻液廠之一的日本信越,也在雲林設廠生產高階光阻液,是信越在日本之外的第一個光阻液廠。產品正等著通過台積電認證,從斗六到台南只要近1小時的車程,提早卡位南科即將爆發的材料商機。 氟化物領域 台灣躋身前三 目前,各材料領域都有台廠投資,其中以生產製程化學品最多。這類材料多半用於清洗晶圓,把多餘的物質拿掉。在氣體領域,過去幾乎都是外商天下,但中美晶投資的台灣特品化學,去年也拿到台積電優良供應商。黃光製程裡,如光阻液也大部分供應商是外商,但永光化學自主研發的光阻液,也已開始打入12吋半導體廠。 台灣半導體材料廠的實力,已足以出口打國際杯。「上一次日韓貿易戰,是我們救了三星。」一位業者透露,日本禁止對南韓出口的半導體等級氫氟酸,是重要製程化學品,全世界除了日本,台灣有兩家公司有能力生產。 這兩家公司,一家叫僑力化工,這家公司沒有上市,卻是全球氫氟酸產能第2大的公司。僑力化工原本是貿易公司,轉型自製產品時,想向日本買技術,日本人卻不願意技術合作;於是,僑力化工便自行研發,從牙膏用的氟化物開始,做到藥品級,最終做到最頂尖的半導體級氫氟酸。「氟化物的原料是螢石,全世界中國蘊藏量最大,但中國只能做出工業級氫氟酸,台灣卻能做到半導體級。」業者透露。 另一家是台塑旗下的台塑大金,這家公司是1999年,由日本大金工業和台塑合資成立,由大金工業提供技術,台塑負責管理,專門生產台灣半導體產業需要的氫氟酸,20年持續擴廠,電子級氫氟酸產能也已達2萬6千噸,台灣半導體廠幾乎都是台塑大金的客戶,它們以內銷為主,當台灣半導體產業持續擴廠,台塑大金今年也積極擴產。根據台塑年報,台塑去年認列台塑大金獲利1億2千萬元。 這幾年,甚至已有部分台灣公司打進更高端的台積電五奈米供應鏈。本刊採訪得知,廣明實業的硫酸、長春石化的雙氧水、信紘科的機能水,都已得到認證採用。在7奈米部分,溶劑大廠勝一,因為有3項材料在台積電7奈米製程被採用,股價從2016年開始翻倍成長。關東鑫林的製程化學品,也是台積電先進製程的要角。(延伸閱讀:機能水技術讓製程變綠 信紘科,研發新材料取代汙染溶劑) ▲台積電目前正在南科興建大型晶圓廠,這裡將成3奈米製程製造基地。(圖/陳俊松攝) 搶食大餅 老台廠攜手外商 此外,有不少本土工業老家族,透過與外商合資,悄悄賺半導體材料的錢。例如南紡旗下的南美特科技,就是化學氣相沉積材料的供應商。也有不少本土半導體周邊廠商想進一步跨入材料產業,例如廠務設備大廠帆宣,也代理銷售半導體材料。中美晶在培養出環球晶之後,現在也大力投資特品化學,轉攻半導體用氣體。還有不少公司,如新應材,正從面板產業材料切入,想逐步切入半導體封測,甚至半導體材料市場。不過,要打進半導體產業絕非一朝一夕就能達成。例如永光化學為了開發自有半導體光阻技術,投資23年時間才完成。 對台灣半導體材料產業的發展,關東鑫林董事長呂志鵬可說是開路先鋒。他回憶,他剛進默克時,主要工作就是把歐洲運來的半導體材料,一桶一桶運給工研院的客戶;後來,這個客戶從工研院獨立出來,變成了台積電。(延伸閱讀:靠回收力搶食綠色製造商機 三福化工,降低7成有毒顯影劑) 呂志鵬說,當時默克看到台灣半導體產業將進入高速成長期,就和日本關東集團在台灣投資伊默克公司,由於硫酸等半導體材料體積大,重量重,默克改採授權模式,由台廠使用默克的技術在台生產,半導體材料產業因此從製程化學品開始發展。隨著竹科崛起,桃園也發展出一個電子化學品的聚落,中華化學、廣明實業、永光化學等大廠,都群聚在桃園觀音一帶。 這些數10年累積的產業知識,中國也覬覦許久。去年,刑事局就破獲中國江化微電子公司被控來台偷取德國巴斯夫電子材料部門的營業祕密,偷的就是生產半導體級硫酸的技術。 ▲長春石化創辦人林書鴻一手打造的化工王國,讓長春成為台積電的關鍵材料供應商。(圖/陳俊松攝) 培養自有供應鏈 勢在必行 除了提高品質競爭力之外,環保也是半導體材料開發的新趨勢。永光化學總經理陳偉望認為,以前半導體廠與台灣廠商合作,多半是為了降低成本;但是歐盟提出新的環保要求後,半導體廠愈來愈有意願與台灣廠商合作研發無毒新材料,或是發展回收技術。 台積電也透過與台廠合作,把技術「埋」在材料裡,採訪中,廠商都避談台積電使用的化學品確切型號,「有些東西全世界半導體產業,只有台積電在用。」業者透露,台積電使用的材料早已與英特爾、三星不同。站上半導體龍頭之後,培養自己的供應鏈已是台積電必走的一條路。 現在,全世界都要爭奪最先進的半導體製程,是威脅也是機會。台灣有機會在半導體代工之後,再長出另一個千億元產業。如果台灣半導體材料產業能因此擴大影響力,未來台灣還會再多一座「護國神山」,成為台灣在全球半導體產業的新競爭門檻。

機能水技術讓製程變綠  信紘科,研發新材料取代汙染溶劑

機能水技術讓製程變綠 信紘科,研發新材料取代汙染溶劑

信紘科原本靠半導體廠務設備起家,他們和台積電合作,把處理廢液的廠務能力,變成綠色製程商機,用無毒機能水取代有毒溶劑,在他們手上成真!(延伸閱讀:半導體龍頭赴美投資不能沒有的化工台灣隊 揭密!台積電背後的隱形冠軍) 買一瓶氣泡水,含在嘴裡,無數二氧化碳氣體形成的小球,會像按摩珠一樣,不斷刺激味蕾。但應該很少人知道,二氧化碳加水,不只能做汽水,還能用來取代有毒溶劑,清洗晶圓,甚至發展出其他機能水,用在台積電最新的5奈米製程上。 這幾年,台灣信紘科技就大力研發機能水技術,「我們的二氧化碳水技術,已經在台積電12吋廠被普遍採用了。」董事長簡士堡說,這種機能水用完之後,二氧化碳會揮發,只留下純水,不但無毒,成本更便宜。 信紘科接著研發出阿摩尼亞水,打進台積電5奈米EUV製程。「5奈米製程現在一定要用上這一道,」簡士堡神祕地說,「我們還有2到3項機能水產品正在研發。」 取代異丙醇 符合歐盟要求 「劉德音(台積電董事長)上任之後,力推綠色製程。」一位業界人士觀察,目標之一就是讓晶圓廠可以用無毒的加工材料,取代毒性高,或難以分解的材料,「這也符合歐盟減少使用有毒電子材料的要求」。台積電研發5奈米新製程時,已經把「減毒」列入考慮,信紘科才有機會,與台積電的研發部門一起研發半導體使用的新材料。(延伸閱讀:台灣最大電子級硫酸廠 廣明實業,台積電美國廠也要靠他) 以二氧化碳水為例,簡士堡解釋,一開始是台積電希望換掉製造過程裡使用的異丙醇,「異丙醇是一種萬用溶劑,很好用,但是有毒」,更麻煩的是,低濃度的異丙醇很難回收,「我們就跟台積電的RDPC(台積電尖端研發單位)一起合作開發」。 簡士堡說,二氧化碳水過去2、30年前就用在製造上,但卻沒人能做到極精確的控制。原本使用異丙醇的環境,充滿強酸強鹼,若是用一般水清洗,「在酸鹼中和過程裡,材料會攻擊導線,讓晶圓上的線路受損」。他解釋,要取代異丙醇,必需用精確控制的酸性水才不會傷到晶圓,而關鍵在導電度,這些機能水裡的金屬離子含量經過精確控制,才因此能取代有毒溶劑。 ▲(圖/彭世杰攝) 廢溶劑回收重生 又是商機 要換掉台積電供應鏈裡的一項材料並不容易,因為每項材料的特性都與前一項、後一項製程緊緊扣連;替換之前,更要長時間測試大量生產時的表現。此外,台積電還必須發信詢問客戶,是否同意更換材料。2014年,信紘科二氧化碳水成功打進台積電。 前幾年,信紘科又開發出阿摩尼亞水。以前,台積電是用阿摩尼亞加雙氧水,清洗晶圓,但台積電研發5奈米製程時發現,5奈米的世界裡,所有效應都會放大,水中帶有太多的氧,會導致線路氧化受損。「在20奈米沒有問題,在5奈米就有差了。」簡士堡說。 阿摩尼亞水是用在EUV(極紫外線)加工後的清洗,簡士堡解釋,EUV加工前,必須要用一種光阻固化劑,讓光阻可以穩穩地固定在矽晶圓上,才能像洗底片一樣把精細的電路印上去,但是這種光阻固化劑有劇毒。透過信紘科的機能水,不但能取代原有的配方,還能改變加工過程裡的酸鹼條件,減少光阻固化劑的用量。「以前這種阿摩尼亞水是偏酸性,現在要做到偏鹼性,而且要剛剛好,太過,就會傷害到5奈米晶圓。」再往下追問,簡士堡連連說:「細節不能再多說了!」(延伸閱讀:靠回收力搶食綠色製造商機 三福化工,降低7成有毒顯影劑) 現在,信紘科持續與台積電推動綠色製程,許多新作法,除了降低成本,也能降低汙染。簡士堡透露,他們要和先進客戶合作廢棄資源活化利用,「這座廠能把製程中的有毒溶劑變成工業用的材料,再賣出去」,很多廢液,如果只是當成廢棄物,連焚化爐都無法處理。 這座廠能把廢溶劑從廢棄物變成原料,「加工後變成油漆的原材料,這個很有商機」。例如,台積電3奈米製程用的部分化學材料,要處理這些溶劑,就要用到信紘科的設備和專利,這又將為公司帶來新收入來源。 簡士堡更透露:「3年前,我們開始研發奈米碳管、石墨烯,可以應用在高頻材料上。」信紘科已經開發出可以反射熱能的奈米輻射漆,或是用來做電池、電容的石墨烯紙。 廠務起家 砸錢研發求轉型 信紘科原本是做廠務業務起家,這家公司歷經多次升級,才有機會打進高端材料的世界。簡士堡說,剛開始時,信紘科是做半導體廠務設備的代工,後來切入半導體廠的廠務工程服務;8年前,信紘科下決心投資化學實驗室,幾乎花光公司大部分現金,「我們每年投資5千萬到8千萬元在研發上」。 現在,信紘科的核心能力是「氣液混合、特殊廢液的降解技術」。他說:「其實,願意長期投資,與台積電一起研發的廠務公司,並不多。」 如今信紘科的業務有好幾隻腳支撐,代工業務占比已小於10%,材料設備等新服務,則正在快速成長。他們開發的機能水,也已打入台積電之外的半導體大廠。未來,這家台灣公司有機會在半導體綠色製程裡,扮演重要的角色。

台灣最大電子級硫酸廠  廣明實業,台積電美國廠也要靠他

台灣最大電子級硫酸廠 廣明實業,台積電美國廠也要靠他

硫酸是半導體蝕刻製程中重要的原料,隨著台積電先進製程不斷推進,對原料的純度要求愈來愈高,廣明實業生產的硫酸,已打入台積電5奈米製程。(延伸閱讀:半導體龍頭赴美投資不能沒有的化工台灣隊 揭密!台積電背後的隱形冠軍) 翻開台積電年報,廣明實業是台積電少數公開揭露的台灣供應商。本刊採訪得知,廣明實業供應的硫酸等原料,已打入台積電5奈米製程,這家公司卻低調到連官網都沒有。廣明實業是台灣最大型電子級硫酸,也是國內生產工業級硝酸的領導廠商。他們生產的酸液,是半導體、面板、太陽能等電子產品中蝕刻製程中的基礎材料。 一位業界人士觀察,「最近廣明的業務負責人天天往台積電跑,因為台積電希望廣明擴產」,加上台積電新廠建廠計畫一個個蹦出來,每座廠的基地都不小,台積電對硫酸的需求持續增加。 純度要求嚴格 廠商大挑戰 台積電需要的不是一般的硫酸,是純度達到PPB(10億分之1)等級的半導體級硫酸。如果拿黃豆比喻,等於1000噸的黃豆裡,只要有幾公克的雜質,就算不合格。這麼嚴格的標準,不只生產困難,連檢驗產品是否合格都是挑戰。這些硫酸要洗去5奈米晶圓上不需要的雜質,如果硫酸品質不符標準,結果就會像台積電先前發生的光阻液事件,因為一項原料造成數10億元的損失。 硫酸並非高價的化學品,但要能做到台積電等半導體廠的生意卻很難,不只要有技術,還要有規模和資金。「太小的廠商還沒有能力承擔出事的責任。」一位業界人士觀察。廣明已成立47年,一年的營收有數10億元水準,放在亞洲,也是具領導地位的供應商。除了技術外,提供服務也要投入大筆資金。例如,運輸就要投資大量成本,一輛運送化學品的槽車價格300萬元台幣起跳,為了服務分布北中南的晶圓廠,需要投資上百輛的槽車。 在廣明實業門口觀察,短短5分鐘內,就看到好幾輛槽車進出。這還不算為檢測品質,建立實驗室的投資。半導體級硫酸雖然生產技術難度高,如果供過於求,仍可能被狠狠砍價,這也是廣明為何不敢輕易擴廠的原因。(延伸閱讀:機能水技術讓製程變綠 信紘科,研發新材料取代汙染溶劑) 「台積電南京廠的硫酸,也是從台灣運過去的。」業界人士透露,因為半導體級硫酸難做,擴廠又有風險,台積電在南京的工廠仍仰賴台灣供應鏈運作。這位業界人士觀察,即使在美國,也難以找到足以替代的化學品供應商,未來台積電在亞歷桑那州的新廠,除非美國政府祭出高額補助,否則仍要靠台灣廠商供應化學原料。 再深入分析發現,廣明實業是個實力雄厚的家族企業。2004年,廣明實業拿下上市公司台硝經營權,廣明實業林家掌握台硝5成以上股權,因此台硝董事會也有著濃濃的家族企業味道。根據台硝年報,台硝董事長林宏信,是廣明實業董事長及台硝常務董事林邱富美之子,妹妹林怡岑則出任監察人;另一名監察人林秀錚是林宏信的姊姊,她也是廣明實業總經理。 ▲(圖/彭世杰攝) 直接供貨 檢測服務一條龍 林家原本在高雄發展,在化學工業投資超過40年。2001年高雄硫酸錏公司停止生產濃硝酸,廣明實業馬上著手興建3萬噸的濃硝酸工廠,導入德國赫司特 (Hoechst)公司硝酸鎂生產技術和美國淡硝酸技術,站上台灣濃硝酸龍頭地位,再順勢拿下台硝經營權。 其後,廣明逐步發展成擁有自有品牌,直接供貨給台積電的材料廠商。一位業界人士觀察,過去分裝、檢測、服務,都掌握在外商手上,台灣公司只做製造,但這幾年,台廠逐步建立服務能量,「就算透過外商賣給半導體廠,外商也只是開一張發票,角色更像代理商。」他觀察。 當全世界都要爭奪台積電的尖端半導體技術時,台灣半導體材料供應鏈的重要性跟著上升,不管台積電要到哪裡設廠,廣明仍會是台積電不可或缺的合作夥伴。(延伸閱讀:靠回收力搶食綠色製造商機 三福化工,降低7成有毒顯影劑)

三福化工靠回收力搶食綠色製造商機

三福化工靠回收力搶食綠色製造商機

台積電跟老牌化工廠三福化工合作,讓台積電廢水中TMAH濃度較101年回收系統建置初期削減73%,三福化工更因此獲利穩定成長。(延伸閱讀:半導體龍頭赴美投資不能沒有的化工台灣隊 揭密!台積電背後的隱形冠軍) 台積電近幾年力推綠色製程,台灣的三福化工就是台積電在這個領域的重要夥伴。  今年,三福化工擬在南科擴廠,加大氫氧化四甲基銨(TMAH)顯影劑回收產能。台積電在水處理技術上投入大量資源研發,三福化工則是擁有回收顯影劑相關技術。三福化工回收的半導體顯影劑可供其他產業做顯影劑使用。 顯影劑再生 搭上循環經濟 循環經濟變成三福化工的大商機。「我們是極少數有顯影劑回收處理技術的公司。」三福化工財務長謝銘智說,這種顯影劑不只半導體產業用,面板和太陽能產業也大量採用,群創、台積、美光也都是三福化工在循環經濟的大客戶。今年下半年,三福在台南的顯影劑回收工廠將動工。 這是台積電推動綠色製造,創造出的材料商機。要回收這種有毒材料,難度在於,顯影劑在清洗製程後,跟其他化學品混在一起,怎麼樣成功萃取?2019年,台積電在官網上公布,透過氫氧化四甲基銨(TMAH)顯影劑回收再利用技術,評估各種水質和樹脂種類,分析原物料使用和機台排放情形,讓台積電全部12吋廠TMAH接近零排放,下一步將針對8吋晶圓廠及後段封裝廠區進行系統優化。 半導體材料加顯影劑回收業務,占三福化工營收超過20%,每年成長率超過2位數。謝銘智說,半導體和面板廠製程都是日夜不停的運作,只要這些工廠運轉,三福化工就能靠回收服務賺錢。(延伸閱讀:機能水技術讓製程變綠 信紘科,研發新材料取代汙染溶劑) 三福化工的前身,是1952年成立的三福氣體。三福集團是台灣老字號的化工公司,一開始是從製作食品用檸檬酸,跨入食品級化工原料製造;接著,因為生產糖蜜素要電解水,產生的氫氣、氧氣,開啟了三福的氣體事業。但1987年,三福集團看到工業氣體技術進入全球化競爭,就把三福氣體部分股權賣給美國Air Products工業氣體公司。目前,三福張家的三福環球公司,仍持有這家合資公司2成多股份。工業氣體是需求穩定的關鍵材料,三福張家因此可以和Air Products共享成長帶來的利益。 兩家公司分割之後,三福化工除了原有的工業及食品級化學材料,繼續發展電子級材料。過去5年,三福化工的每股盈餘持續上漲,從2015年每股盈餘2.2元,前年站上4.3元高峰,去年每股盈餘則為3.5元。 今年,三福化工也在越南擴廠,看好東協電子級材料的發展商機。「我們在越南,氣體和電子材料都生產,在中國則以電子材料為主。」謝銘智透露,三福這幾年持續投資精密化學品技術,每年資本支出達到3、4億元,甚至建構能檢驗PPT(兆分之一)等級精密度的化學實驗室。 ▲(圖/資料室) 越南蓋新廠 看好東協商機 三福在半導體材料也有不錯的生產實力,除了接到國際大廠代工半導體級研磨液訂單,自己也生產顯影液、蝕刻液、剝離液等產品,部分已經打進半導體供應鏈。(延伸閱讀:台灣最大電子級硫酸廠 廣明實業,台積電美國廠也要靠他) 今年,雖然外在環境變數不少,但三福化工展望仍相當樂觀。採訪時,謝銘智表示:「目前第1季還不錯,營收和獲利沒有掉。」他分析:「在疫情影響下,變數很多,但我們今年持續擴廠,今年的營收不會比去年差。」今年第1季,三福化工營業利益達9900萬元,較去年同期增加33%。 展望未來,在台積電發展綠色製造,培養在地材料供應鏈,並大力擴廠的3大推力下,三福化工有機會繼續成長,穩穩賺進台灣半導體材料的商機。

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