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應材宣布成功導入鈷材料取代銅,延續摩爾定律發展先進製程

2017-05-19
作者: 財經新報

應用材料表示,未來若以鈷取代銅成為先進製程上的導線關鍵材料之後,預期因為導電性更佳,而且擁有功耗更低等的優點,將可大幅減小晶片體積,使晶片的效能更優越。如此也能進一步延續摩爾定律,使晶圓製造商如台積電繼續發展個位數奈米先進製程。

在當前針對高性能晶片的要求,希望不斷提效率,並且降低功耗,提升儲存空間的情況下,透過延續摩爾定律,將先進製程不斷的向下發展就成為不可逆的發展方向。而這也是目前晶圓代工龍頭台積電,在當前推出 10 奈米製程之後,陸續規劃在 2018 年及 2019 年陸續推出 7 奈米及 5 奈米先進製程的原因。

不過,隨著先進製程往個位數奈米製程發展,則因為當前製程的銅材料導線會因為導電速率的不足,無法滿足個位數奈米製程的需求,使得發展先進製程發展上碰上阻礙。因此,應用材料在 2014 年就開始研發以鈷來取代銅,成為未來先進製程中導線材料的可能。如今,在 17 日應用材料正式宣布,將在個位數奈米製程節點上陸續導入鈷材料,使導線的導電性更佳和功耗更低,並且讓晶片體積得以更小,進一步推動摩爾定律得以延伸推進到 7 奈米,甚至到 5 奈米及 3 奈米以下的先進製程中。

根據應用材料表示,在先進製程中,半導體金屬沉積製程進入 7 奈米以下的節點...


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